机译:连续错流原子层沉积反应器设计的按比例放大分析
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机译:基于模型的原子层沉积过程分析与设计方法论(第一部分:连续流反应器的力学建模)
机译:用于微电子制造的原子层沉积的可持续放大研究
机译:原子层沉积的替代路线:反应堆设计和过程开发
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积在高纵横比结构中沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:原子层沉积(aLD)反应器设计和循环运行的动态建模
机译:有机金属化学气相沉积生长外延层界面突变的反应器设计分析